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深圳市奧斯恩凈化技術有限公司

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半導體制造車間在線式氣溶膠粒子計數(shù)器的詳細資料

  聲明:以上價格不代表實際價格,需要根據(jù)實際需求確認后方可定價格,有需要請電話咨詢或者在線聯(lián)系客服,給您帶來不便請諒解!

  半導體制造車間在線式氣溶膠粒子計數(shù)器是一種的技術設備,基于激光散射原理的多通道粒子計數(shù)傳感器,可準確測量包含0.3μm,、0.5μm、1μm、3μm、5μm、10μm行業(yè)通用的6種粒徑。主要用于實時監(jiān)控和記錄空氣中微粒的數(shù)量、大小以及分布情況。廣泛應用于各種需要嚴格控制空氣質量的環(huán)境中,如半導體制造廠、制藥車間、醫(yī)院手術室等對潔凈度要求極&高的場所。通過使用高精度傳感器來捕捉空氣中的微小顆粒物信息,并將其轉換為電信號發(fā)送給數(shù)據(jù)處理單元進行分析處理,最終以圖表或數(shù)字形式展示給用戶界面上。

半導體制造車間在線式氣溶膠粒子計數(shù)器

半導體制造車間在線式氣溶膠粒子計數(shù)器特點

數(shù)據(jù)準確:單顆粒激光散射原理,工業(yè)級激光光源。計數(shù)效率高,重復性和 一致性好。

粒徑范圍:粒徑范圍 0.3~10μm,保證計數(shù)效率同時,單臺傳感器覆蓋六通道。

可靠性高:空氣動力學修正, 光路和氣路自檢,對震動不敏感,保證系統(tǒng)可靠性與穩(wěn)定性。

流量穩(wěn)定:采用主動采樣方式,采用恒流進氣風扇,選配 PID 流量控制功能,

可支持穩(wěn)定、長時間、高負壓、采樣;可選氣泵版,外置高性能氣泵模塊。

響應快速:秒級數(shù)據(jù)更新。

全自動測量:可遠程控制,無線傳輸,數(shù)據(jù)實時上傳至物聯(lián)網平臺。

電路安全:具有 ESD、過壓、過流、反接保護,確保電路的穩(wěn)定性及可靠性。

安裝便捷:安裝結構簡單,通用性高。

安全友好:低壓供電,無電擊;無放射源,無光污染。

軟件有完整的事件記錄,包括傳感器的工作狀態(tài)、登錄用戶的所有操作和報警事件等。

系統(tǒng)設有現(xiàn)場聲光報警(具有現(xiàn)場消音功能),可支持短信報警功能,用戶可任意設定超限報警級別、預報警級別。

配置多色報警器,可在生產現(xiàn)場提供聲音或可視的報警信號,因此,報警燈應放置在顯眼的位置, 并可將警報可以轉換成多色信號燈顯示,還可以選配短信報警器。

技術指標

氣溶膠粒子計數(shù)在線監(jiān)測系統(tǒng)

類別

序號

產品名稱

參數(shù)規(guī)格

主機

1

數(shù)據(jù)采集儀

l 性能參數(shù):NXP i.MX6UL處理器,Cortex®-A7內核,主頻528MHz,內置linux操作系統(tǒng);

l 多通道數(shù)據(jù)采集接口,3路232和3路485接口,支持MODBUS協(xié)議,超標報警推送、超標告警查詢、全天候24實時在線監(jiān)測,可集成多種傳感器探頭;

l 支持遠程登錄、自動重啟遠程升級、遠程更新設備軟件;

l 控制功能:能通過上位機控制檢測儀表設置數(shù)據(jù)采集頻率、系數(shù)校準、時間同步、報警參數(shù)設置等功能;

l 支持插入U盤自動升級軟件程序功能;

l 具備以太網接口,直接通過局域網或internet與上位機通訊;

l 具備數(shù)據(jù)超標聯(lián)動報警功能,可聯(lián)動報警燈、攝像頭抓拍等;

l 數(shù)據(jù)存儲:內置大容量SD卡,可存儲一年以上的原始監(jiān)測數(shù)據(jù),并可通過有線或者無線方式顯示到LED屏幕上或者云平臺軟件;

l 設備數(shù)據(jù)傳輸符合國家通信標準HJ212-2017傳輸協(xié)議;

l 具備GPS定位功能,實時定位設備所處地理位置;

l 斷網續(xù)傳功能:在設備離線的情況下,正常監(jiān)測數(shù)據(jù),設備恢復網絡后遠程補傳;

l 可擴展性:可擴展添加噪聲,顆粒物,含氧量檢測指標等參數(shù)。

監(jiān)測參數(shù)

2

粒子計數(shù)傳感器

l 測量輸出:0.3~10μm 共 6 通道粒子數(shù)

l 量程:4,000,000 個 /ft3

l 計數(shù)效率:0.3μm/50% >0.45μm/100%(@25℃,50%RH)

l 相對誤差:±15%(@25℃,50%RH)

l 工作溫度范圍:-20-60℃

l 溫度范圍:0-99%RH

l 工作大氣壓力:86KPa~110KPa

3

風速傳感器(選配)

l 測量范圍:0-1m/s ;1-20 m/s

l 測量精度:±0.1 m/s

l 工作范圍:溫度:0-50℃,濕度:<85%RH

l 響應時間:<3秒

4

壓力傳感器(選配)

l 測量范圍:默認-120Pa~120Pa

l 壓差精度:±(3%讀數(shù)±0.08Pa)@25℃

l 壓差分辨率:0.1Pa

l 長期穩(wěn)定性:≤0.05Pa/y

l 響應時間:1S

5

溫濕度傳感器(選配)

l 測量范圍:溫度:-40-120℃濕度:0-100%RH

l 測量精度:溫度:±0.5℃濕度:±3%RH

l 分辨率:溫度:0.1℃;濕度:0.1%RH

監(jiān)控

云平臺

6

云平臺功能

l 查詢:此功能主要用于多臺設備進行數(shù)據(jù)對比查詢;

l 歷史查詢:歷史查詢主要用于查詢設備某天或某小時的數(shù)據(jù)曲線查詢及報表下載;

l 曲線分析:曲線分析是用于分析一個時間段內的要素變化,可以在曲線上進行拖動;

l 站點管理:這個功能是用于添加或更改站點

l 電子地圖:在線狀態(tài),故障狀態(tài)

l 實時數(shù)據(jù):實時數(shù)據(jù)查詢,小時平均值,日平均值數(shù)據(jù)統(tǒng)計,最大值最小值統(tǒng)計


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